本激光清洗系統具有以下特點:
工作溫度范圍 | 0℃-45℃ |
線性度 | 99.9% |
小步階響應時間 | ≤0.3ms |
比例漂移 | <40PPM/℃ |
零點漂移 | <15μRad./℃ |
長時間漂移(連續工作8小時) | <0.5mRad. |
平均工作電流 | 2.0 A |
峰值電流 | 15A(max) |
最大掃描角度 | ±15° |
存儲溫度 | -10至+60℃ |
分辨率 | 12μRad. |
重復精度 | 8μRad. |
輸入孔徑 | 9.0mm |
光束位移 | 12.4mm |
重量 | 45g |
頻率 | ≤1200Hz |